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熱影響を与えず、超精密な加工が可能。
■熱影響を受けやすい部品（ウェハー等）へ精密マーキングが可能 |
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| 品名 | EP-15-SHG-S |
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| レーザー出力 | 8W |
| 印字エリア | 100mm×100ｍｍ(Std)/160mm×160ｍｍ(Opt) |
| 最小文字サイズ | 0.1ｍｍ |
| 印字速度 | 7000ｍｍ／ｓ |
| 繰り返し精度 | ±0.003ｍｍ |
| 電源 | 単相 220V±５％／50Hz／60Hz |
| 消費電力 | 2000W |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 寸法 | 本体：800mm×1030mm×1650mm |
| 重量 | 本体：320Kｇ ／ チラー：52Kg |
クリスタル
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